Smart-S超純水機(jī)在集成電路制造中制備純水過程

　　在大規(guī)模集成電路制造中，每一階段結(jié)束后，都要用水沖洗。因為在進(jìn)行微米級的微細(xì)加工時，必須避免同會使半導(dǎo)體性能變壞的雜質(zhì)接觸，還要防止雜質(zhì)進(jìn)入氣路導(dǎo)管。為了達(dá)到這一目的，用于沖洗的水要經(jīng)過超純水機(jī)嚴(yán)格提純制備。

　　在生產(chǎn)大規(guī)模集成電路時要求的超純水無法從自然獲得，必須通過超純水機(jī)或其他方式進(jìn)行制備。超純水的精煉分為一次純水處理和二次純水處理。一般來說，通過Smart-S超純水機(jī)將向各車間供應(yīng)的純水集中處理是一次純水處理，各車間各自進(jìn)行的處理是二次純水處理。

　　經(jīng)過超純水機(jī)提純的一次純水處理的水源有城市自來水、工業(yè)用水、河流的水、地下水、井水等，應(yīng)根據(jù)水源和水的性質(zhì)進(jìn)行相應(yīng)過濾等前處理，然后用滲透膜和離子交換膜去除微細(xì)的懸浮液為例子和溶解于其中的物質(zhì)，以得到集成電路制作中所需要的水質(zhì)。經(jīng)過超純水機(jī)制備的一次純水已經(jīng)很干凈，但是非常容易溶解其他物質(zhì)，因此在貯存和運(yùn)輸過程中，一定要小心使其不被重新污染。

　　為了保證水質(zhì)*符合要求，在使用現(xiàn)場還要再次進(jìn)行精煉，即進(jìn)行超純水機(jī)二次純水處理。二次純水處理設(shè)備就安裝在制造半導(dǎo)體器件的超凈房間里，或放在它的附近。二次純水處理所需要的Smart-S超純水機(jī)中包括有紫外線殺菌裝置，非再生型盒式離子交換裝置、微過濾器和超級過濾的薄膜過濾器等，經(jīng)過這樣一系列的嚴(yán)格制備所得到的超純水，能夠符合集成電路制造生產(chǎn)中對水的需求。